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인터뷰

“국내토종기술로 세계최초 반도체웨이퍼 금속오염 모니터링계측설비 양산 성공, 엔비스아나 김영남 대표

“국내토종기술로 세계최초 반도체웨이퍼 금속오염 모니터링계측설비 양산 성공,
세계적 수준의 기술력으로 글로벌 시장에 뛰어들겠다”
극미량금속오염물질 검출기술로 기업공개 나서

반도체는 미세한 오염물질에도 성능에 큰 타격을 받는다. 제품의 성능을 떨어뜨려 불량률을 높이기 때문이다. 더욱이 요즘 초미세먼지 등 대기환경의 악화로 오염물질 관리 기술의 중요성이 더 커졌다. 이러한 가운데 완전 자동화기술로반도체 공정에서 금속오염을 실시간 모니터링하는세계최초 계측설비 개발에 성공한 국내기업이 있어 업계의 이목이 쏠리고 있다. 반도체 장비 업체인 엔비스아나(NvisANA). 양산 후 수년간 검증을 마친 엔비스아나는 그간의 체력을 바탕으로 기업공개(IPO)에 나섰다. 김영남 대표를 만나 개발 히스토리와 앞으로의 계획에 대해 들었다.



In-Line 반도체금속오염 실시간 모니터링 기술이 핵심

엔비스아나는 2010년 삼성전자 반도체 수석연구원 출신 전필권 대표의 손에서 탄생했다. 5년여의 연구 끝에 개발에 성공한 M-SPEC(WCS)은 반도체공정에서기존의 광학적 방법으로 검출이 어려운결함(NVD:Non-Visual Defect)을 검출해 낼 수 있다. 엔비스아나에서5년여의 연구끝에 개발에 성공한 세계최초 반도체 웨이퍼 금속오염 모니터링 계측 설비 M-SPEC(WCS)은반도체공정에서기존의 광학적 방법으로 검출이 어려운결함(NVD : Non-Visual Defect)을 검출해 낼 수 있다.반도체 공정상 금속성분에 의해 생기는 오염에 의한 불량은 과거에도 있었지만, 초정밀공정의 증가로인해 더욱 중요성이 증가했다고 김 대표는 설명한다. “오염에 의한 NVD관리 필요성은 10㎚제품부터 급증합니다. 보이지 않는 극미량의 오염을 감시해 제품불량에 의한 손실을 예방하자는 게 M-SPEC(WCS)의 개발 목적입니다.”

업계에서엔비스아나를 특히 주목하는 이유는 반도체 공정중 완전자동화로 실시간 웨이퍼 금속오염을 모니터링하는 계측장비를 세계최초로 개발해낸 국내업체란 점이다. 그동안 국내 및 해외반도체업계는 결함을 검출하기 위해서 미국, 일본 검사계측설비를사용해 왔다. 하지만 지금까지 광학적으로 검출이 어려운 금속 오염에 의한 NVD 결함을 검사하는 양산 설비는 존재하지 않았다.물론 금속오염을 분석하는 분석설비는 있다.하지만 피드백 타임이 느리고 불량을 실시간으로 모니터링할 수 없다는 단점을 안고 있었다고 김 대표는 전한다. 분석을 의뢰하고 피드백 받기까지 수일이 걸렸다는 것. 엔비스아나는 이에 대한 솔루션까지 제공한다. “완전 자동화 설비 형태로  IN-FAB에서 극미량(10ppt level)메탈오염을관찰할 수 있는양산 설비는M-SPEC(WCS)이 전 세계적으로도 최초입니다.”



2014년 첫 양산 시작, 현재 국내외 반도체 FAB에서 약 50대 이상운영 중

그렇다 하더라도 기존의 주류 업체가 깊숙이 들어선 레드오션 시장으로 진입하는 일이 쉽지만은 않았을 것이다. 그렇다 하더라도 기존의 미국 일본등 글로벌 기업들이 선점하고있는 반도체 계측 장비 시장으로 진입하는일이 쉽지만은 않았을것이다.김 대표는 좋은 기술이 있어도 수요가 뒷받침되지 못하면 자리를 잡기 어려운 게 현실이라고 전했다. “반도체 산업이 국가의 기간 산업인 만큼 국내 관련 업체들과 성장해 나가야 하지만 실질적인 한계가 많은 상황입니다. 위험부담도 크고요. 반도체 설비회사를 국산화한다는 것은 시간과 노력이 막대하게 필요한 일인 것이지요.”

세계최초로완전자동화 기술을 이용한 반도체 오염 모니터링계측설비 회사라는 목표로 도전장을 낸 엔비스아나는 5년여에 걸쳐 양산설비 개발을 완료하고 3년 전부터 납품을 시작해 현재까지 삼성과 SK하이닉스에 50여 대의 M-SPEC(WCS)를 공급했다. 초기 모델 이후 충분한 경험을 쌓으며 체력을 길러 왔기에 가치를 인정받을 수 있었다고. 서비스를 빠르게 받을 수 있다는 점도 고객사들에 높은 점수를 얻은 부분이다. “본사 건물 내에 연구소와 공장, 영업 마케팅부터 경영지원팀까지 모두 모여있습니다. 고객의 요구에 빠르게 부응할 수 있는 이유지요. 55명의 직원이 각자의 위치에서 발 빠르게 지원을 하고 있습니다.”

엔비스아나의 기술력은 다양한 분야에 활용할 수 있어 성장세가 더욱 기대된다. 반도체뿐만아니라 소재 분야에도 쓰일 수 있는데 M-SPEC설비를 이용해 소재 내 금속불순물을 관리한다는 것이다. 또한, 실리콘 웨이퍼 제조 과정에서도 금속오염물질을 찾아내는 역할을 한다. 이미 한국과 중국 웨이퍼 제조 업체가 고객이 됐다. “가스와 케미컬 그리고 디스플레이 분야에서의 관심도 높습니다. 점차 제품을 다변화해 다양한 현장에서 제 역할을 할 수 있도록 추진할 계획입니다.”


IPO 전략적으로 해 나갈 터

세계적 기술을 자부하고 있음에도 그간 엔비스아나는 홍보를 자제해 왔다. 반도체 산업의 특성상 기술보안이 그 무엇보다 중요한 요소이기 때문이다. 기업 홈페이지조차 만들지 않았다고. “말 한마디로 기술을 알아차릴 수 있는게 이 분야입니다. 기술 비밀이 유출되면 하루아침에 큰 타격을 받을 수 있어 여간 조심스러운 게 아닙니다.”

그런엔비스아나가금년 10월 코스닥 입성을 목표로 최근 주간사를 선정하고 IPO에 들어섰다. 해 볼 만하다는 자신감으로 봐도 무방할까? 김 대표는 경쟁 업체가 진입하는 것을 당연하게 받아들여야 하며, 충분히 체력을 기른 만큼 자신이 있다고 밝혔다. “전시회에 참여했는데 포스터 한 장만 보고 기술 가치를 단번에 알아보는 사람들이 있었어요. 에이전시를 하겠다며 찾아오기도 했고요. 이제 전략적으로 홍보할 때가 아닐까 싶습니다.”

전 대표가 기술을 개발해 기반을 마련했다면 이제 김 대표가 날개를 달 차례.엔비스아나는 2010년 삼성전자 반도체 수석연구원 출신 전필권전대표의 손에서 탄생했다.전필권전 대표가 기반을 마련했다면 이제 김 대표가 날개를 달 차례. 사실 이들 둘은 삼성 동기로 김 대표가 엔비스아나에 온 건 지난해 8월이다. 반도체 검사계측과 분석 분야 그리고 DEFECT 분야에서 오랜 경험을 쌓은후 세계적 반도체 장비회사인 네덜란드 기업 ASML HMI코리아 기술마케팅을 맡고 있던 김 대표를 오랜 시간 지켜봐 온 전 대표가 핸들을 쥐여 준 것이다. 반도체 장비회사의 경우 기술과 시장 그리고 기술 및 고객의 가치를 이해해야만 회사를 이끌 수 있으므로 분석기술,MI기술, DEFECT 기술 그리고 메모리, 로직 제품에 대한 이해와 마케팅 경험 등 다양한 경력을 갖춘 김 대표를 적임자로 판단한 것. “좋은 회사에 근무하고 있었기에 망설인 것도 사실이에요(웃음). 하지만 국내기업을 키워달라는 전 대표의 말에 마음이 움직이더군요. 제대로 된 국내 계측 설비 업체로 키워보자는 생각으로 이 자리에 오게 되었습니다.”





국내시장 넘어 글로벌화해 나갈 것

김 대표는 먼저 삼성과 ASML 출신 인사들로 영업,마케팅분야 맨파워를 강화했다. 회사의 지속성장과 발전을 위하여 글로벌시장 확대를 목표로 해외영업 마케팅분야를 강화를 1차 과제로 내세웠다.직원들에게도 이와 관련한 역량을 기를 것을 주문했다. “한국 안에서 머무를 수 없습니다. 세계 시장으로 나아가야 해요. 해외 고객에 서비스하기 위한 능력을 기르는 일은 필수가 아닐 수 없습니다.” 고객의다변화뿐만 아니라 제품의 다변화도 추진하고 있다. 올 상반기까지유기물을 검출할 수 있는 O-SPEC, 이온을 검출할 수있는 I-SPEC의개발에 박차를 가하고 있다는 김 대표는 멈추지 않는 기술 혁신으로 미래에대비하겠다고 강조했다. “언젠가 이 기술에 도전을 받게 될 것입니다. 업계는 경기에 민감하게 반응할 거고요. 냉험한세계니까요. 하지만 기술 개발을 멈추지 않는다면 장래는 밝다고 생각합니다.”

경영철학을 묻는 말에는 그는 리더의 역할로 대답을 갈음했다. 비전 제시와 혁신, 후배양성등이 그것이다. 그동안 김 대표는 동기부여의 매개자로서 직원들에 비전을 제시하고 전 직원에 스톡옵션을 제공했다. 근무 환경을 개선하고 기술과 시장의 다변화를 통한 혁신을 이어왔다. 또한. 끊임없는 교육을 통한 인재 양성에도 힘을 쏟고있다. “생각을 나누고 기쁨을 나눌 때 회사와 직원이 함께 더 큰 성장을 일구어 갈 수 있다고 생각합니다. 앞으로 엔비스아나가 국내 토종기업으로서 세계 속으로 당당히 걸어가겠습니다.”